中古 VARIAN 3100 #9165616 を販売中

VARIAN 3100スパッタリング装置は、薄膜サンプルの製造および特性評価で一般的に使用される完全自動化された薄膜成膜システムです。このユニットは、あらゆるサイズ、形状、形態の基板に、半導体、金属、ポリマーなど、さまざまな薄膜を堆積させるように設計されています。この機械は、高真空蒸着チャンバ、電動スパッタリングカソード組立、プラズマジェネレーター、および高真空ゲートバルブで構成されています。高真空成膜チャンバーは、内部圧力が10-4 torr以下の真空密閉封じ込め工具です。この機能により、不要な汚染物質が資産に入らないようにし、優れた品質と一貫した堆積パラメータを提供します。チャンバー内には電動スパッタリング陰極アセンブリがあり、必要な材料を適切な基板にスパッタするために使用されます。スパッタガンは、期間、電力、方向などの堆積パラメータを簡単に変更するようにプログラムすることができます。スパッタガンにはプラズマジェネレータも装備されており、チャンバー内にグロー放電を作成し、スパッタリングプロセスをさらに支援します。これは、エッジでも、サンプル全体にわたって一貫した沈着を確保するのに役立ちます。3100スパッタリングモデルには、外部環境と高真空蒸着チャンバ間の安全なシールを提供する高真空ゲートバルブも装備されています。この機能は、不要な汚染物質が機器に入らないようにし、一貫した結果と優れた薄膜蒸着品質を保証するのに役立ちます。さらに、このシステムには真空制御モジュールも装備されており、ユーザーは手動でチャンバー圧力を調整することができます。この機能は、沈着中の一貫した結果と一貫した沈着パラメータを確保するのに役立ち、薄膜の正確な沈着に不可欠です。最後に、VARIAN 3100スパッタリングユニットには、堆積パラメータを記録するためのデータ収集機も装備されています。この機能により、入金全体にわたって堆積パラメータを正確に監視および記録することができ、記録保存とデータの可視化も可能になります。要約すると、3100スパッタリングツールは、薄膜サンプルの製造と特性評価のために特別に設計された完全自動蒸着アセットです。高真空成膜チャンバー、電動スパッタリングカソード、プラズマ発生器、高真空ゲートバルブ、真空制御モデル、データ収集装置を備えています。これらのすべての機能は、最高の結果を得るための正確で一貫した堆積パラメータを確保するのに役立ちます。