中古 UNAXIS Clusterline 200 #9279527 を販売中

UNAXIS Clusterline 200は、優れたプロセス精度と再現性を提供する最先端のPVDスパッタリング装置です。Clusterline 200は、ロードロックチャンバー、シングルスパッタソースまたはデュアルスパッタソース、プロセスチャンバーからなるモジュラー設計コンセプトに基づいています。これにより、DCまたはパルスDC/RFマグネトロンスパッタリング、電子およびイオンビーム蒸発、化学エッチングなど、さまざまな蒸着プロセスを構成できます。このユニットは、最大8x10-8mbarの低メンテナンス超高真空を使用しており、さまざまな薄膜用途において非常に正確なプロセス条件を実現します。高度なリアルタイムGUIで動作するコントローラは、複数のプロセス制御オプションをユーザーに提供し、手動または自動モードで正確なプロセス制御を保証します。また、このソフトウェアを使用すると、スパッタ堆積プロセスを独自に迅速かつ効率的にトラブルシューティングすることができます。UNAXIS Clusterline 200は、バッチトランスポーターを内蔵したコンパクトなロードロックコンビネーションを採用した自動バッチスパッタマシンです。これにより、ユーザーは最大8インチの基板を同時に処理することができます。このツールは、マルチゾーンまたはシングルチャンバー操作のための他のさまざまなプラテンオプションも提供します。精密なプロセス制御機能に加えて、Clusterline 200は高解像度の統合ビューイングカメラと電源モニタを備えています。モジュラーガスシステムの提供により、様々な入口および排気ガスの制御が可能となり、精密な制御と再現性で優れたフィルム品質を実現します。UNAXIS Clusterline 200は、高度なスパッタソースオプション、自動バッチ処理機能、および多数の組み込み機能を備えた包括的で信頼性の高いPVDアセットをユーザーに提供します。アクセス可能な信頼性とモデルのスケーラビリティにより、さまざまなスパッタ蒸着業界で好ましい選択肢となります。