中古 UNAXIS Clusterline 200 #9189483 を販売中

UNAXIS Clusterline 200は、ガラス、セラミック、プラスチック、金属基板など、さまざまな基板に精密フィルム成膜技術を提供するスパッタリング装置です。この汎用性の高いシステムは、中規模から大規模なジョブでの柔軟性と生産のために設計されています。基板に均一で高品質な薄膜成膜を実現する自動プロセス制御機能を提供します。Clusterline 200は、基板の製造から始まる高品質の製造プロセスを使用しています。その後、UNAXISマグネトロンソースが非常に集中したエネルギービームを生成する真空チャンバー内のユニットを通して基板を輸送します。これらのビームが基板を爆撃すると、それらは粒子をソースからスパッタさせ、ターゲット基板上に薄膜を形成する。最良の結果を得るために、プロセスは自動化されたプロセス制御機能によって継続的に監視されます。UNAXIS Clusterline 200は、信頼性が高く効率的で管理された作業プロセスを保証する統合プロセス監視プラットフォームも提供します。統合されたプロセス監視プラットフォームにより、ユーザーはマシンパラメータを監視し、発生した問題を診断し、プロセスを調整して最適なパフォーマンスを得ることができます。さらに、Clusterline 200は、高度なスパッタリング技術により優れた性能を提供します。その高度なスパッタリング技術は、革新的な圧力パルス技術を使用して、生成されるイオン化された原子の量を制限します。これにより、表面粗さと結晶成長を低減し、また、小型および複雑な部品に薄層蒸着を可能にします。最後に、UNAXIS Clusterline 200は、プロセス効率を最大化するために、さまざまな基板温度と圧力に対応できます。基板へのフィルム積載を最小限に抑え、残留応力を最小限に抑えることができます。結論として、Clusterline 200は、汎用性、精度、堅牢なプロセス制御を提供する強力で高性能なスパッタ成膜ツールです。高度なプロセス制御と最先端の技術により、様々な基板への成膜に最適です。