中古 UNAXIS / BALZERS UNI 800 ECO #9285795 を販売中

UNAXIS/BALZERS UNI 800 ECOスパッタリング装置は、様々な金属、セラミック、プラスチック基板上の薄膜の製造に使用される汎用性の高い高性能な蒸着装置です。プロセスチャンバー、RF、 DC電源、ロードロック、基板ホルダ、コントローラで構成されています。プロセスチャンバーの内径は305mmで、上記の基板のうち最大8サンプルを収容することができます。チャンバーへのガス流量は、2つのガス入口によって制御され、反応性蒸着のための反応ガスの導入とスパッタ洗浄を可能にします。チャンバーはまた、自動化され、直径2〜8インチの基板に対応することができるローディング/アンローディングシステムを備えています。RF電源は高い沈着率を可能にし、DC電源はフィルムの均一性を保証します。13。56 MHzの周波数で最大800 Wの電力を供給します。動的タイプのロードロックは、基板の積み下ろし時にユニットの連続動作を保証します。それは4つまでの基質を収容できます。基板ホルダーは、スパッタリング時に低温均一性を提供し、各ホルダーに最大250kgの独立したサポートを提供します。磁場配列は、基板ホルダーが傾いているときに堆積粒子を集中させることができます。Windowsベースのソフトウェアで動作するコントローラは、使いやすい直感的なユーザーインターフェイスを提供します。UNAXIS UNI 800 ECOは、幅広いスパッタリング用途に適した信頼性の高い最先端の機械です。幅広い材料の堆積が可能で、高品質な均一性とスループットを提供します。その高度な機能は、大規模な生産のための理想的なツールになります。