中古 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9296436 を販売中

UNAXIS/BALZERS LLS EVOスパッタリング装置は、薄膜を基板に堆積させるために設計されたPVD（物理蒸着）システムです。このユニットは物理的な蒸着を利用しています。つまり、薄膜は一般的に気体前駆体の反応を伴う化学蒸着ではなく、材料の個々の粒子から作成されます。UNAXIS LLS EVOは、高出力インパルスマグネトロンスパッタリング（HIPIMS）技術を使用して、材料使用量と蒸着時間を最小限に抑えるモジュラースパッタリングマシンです。HIPIMSは、従来のマグネトロンスパッタリングよりもエネルギーイオンを生成し、より効率的なスパッタ蒸着を可能にします。BALZERS LLS EVOは、直流（DC）電源や高周波（HF）電源、制御環境チャンバーなどのオプションのプラズマ源も備えています。これにより、蒸着の均一性を確保し、繊細な基板への接触損傷を最小限に抑えることができます。これらの部品はすべて、製造された薄膜のプロセスと蒸着特性を正確に制御することができます。LLS EVOは、均一な成膜とコンフォーマルコーティング、クラウド窒化、トライボケミカル変換、高密度コーティング、高アスペクト比カプセル化など、幅広い成膜目標を達成することができます。このツールはまた、高度なプロセス制御機能を備えており、プロセスパラメータの最適化とフィルム特性のリアルタイム測定を可能にします。これにより、再現可能なプロセス結果とプロセス歩留まりが向上します。UNAXIS/BALZERS LLS EVOアセットは、MEMSデバイス、光学アプリケーション、半導体アプリケーション、車載触媒コンバータなど、高性能な薄膜を必要とするアプリケーションに最適です。このモデルは、成膜プロセス能力と薄膜成膜の品質の点でユニークな利点を提供し、幅広いアプリケーション要件に適しています。