中古 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9284249 を販売中

UNAXIS/BALZERS LLS EVOは、マグネトロンスパッタリング技術を使用して材料を基板に堆積させるスパッタリング装置です。このスパッタ蒸着システムは、複数の陰極ソースと回転ターゲットホイールを備えた特別に設計されたマグネトロンを使用して、均一で一貫したコーティングを作成します。ターゲットは回転ホイールによって所定の位置に保持され、スパッタリングはひずみのないスパッタソースで行われます。スパッタリングプロセスは、DC磁場と応用バイアス電圧を使用して、エネルギーイオンを生成する電気アークを作成することによって動作します。これらのイオンは基板（ワーク）に衝突し、浸食して材料を除去し、基板に堆積させます。腐食材料は絶えず基質に沈殿し、選ばれた材料の均一そして層を造り上げます。基板バイアス電圧、DC磁界強度、ロータ速度などのパラメータに応じて、最終結果は薄膜または酸化物様の層コーティングから、保護または耐摩耗性用途向けの厚膜コーティングまでさまざまです。UNAXIS LLS EVOは、アルミニウム、銅、金、銀、チタンなどの様々な材料、および特定の用途向けのカスタマイズされた材料を提供します。ガラス、セラミックス、金属、プラスチックなど多種多様な基板にも使用できます。スパッタリングプロセスは、基板が高温に達せず、沈着プロセス中または後に環境上の懸念がないため、安全です。BALZERS LLS EVOは、さまざまな業界のハイエンドコーティングを製造するための理想的なマシンです。高い蒸着速度とスパッタ蒸着プロセスの高精度により、より速い生産速度とより費用対効果の高いソリューションを実現します。マグネトロンの精密な制御により、このツールは、マイクロエレクトロニクス、半導体、光学、およびその他の高精度アプリケーションに最適なきれいで均一なコーティングを生成します。さらに、幅のバリエーションやボイドを気にすることなく、異なる形状やサイズの表面積をカバーするようにアセットを調整することができ、高い一貫性と再現性を確保します。その結果、LLS EVOスパッタリングシステムは、さまざまな用途のコーティングを作成するための費用対効果が高く信頼性の高い代替品です。