中古 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9254147 を販売中

UNAXIS/BALZERS LLS EVOは、研究および生産アプリケーションで広く使用されている真空スパッタリング装置です。イオンビームスパッタリング（IBS）やマグネトロンスパッタリング（MS）など、さまざまなスパッタリングプロセスで使用できる堅牢で信頼性が高く、使いやすいツールです。UNAXIS LLS EVOは、さまざまなサンプル処理機能を提供する多基板スパッタリングツールです。高真空チャンバーを2基備え、汎用性の高いカソード設計により、標準基板と大判基板の両方の低負荷サイクルスパッタリングが可能です。チャンバーは10〜6 mbarの作動圧力範囲を持ち、貴金属または絶縁体スパッタリングに使用できます。高品質のメンブレンポンプを備えており、メンテナンスコストを削減できます。BALZERS LLS EVOは、積み下ろしロボット、基板ドック、プロセスコントローラ、高精度リニアモータを含む自己完結型システムです。ロボットは素早い動きと基板の正確な位置決めを提供し、ドックは複数の基板を便利に保管できます。プロセスコントローラは、すべてのスパッタリングパラメータが適切に設定されていることを保証し、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスをユーザーに提供します。リニアモータは、基板が正しい速度で動くことを保証し、望ましい蒸着厚さを確保します。LLS EVOは、均一なガス流量ユニットを使用して、基板全体に均一な蒸着が得られるようにします。また、高度なプロセス監視技術を搭載しており、蒸着プロセスをリアルタイムで観察することができます。さらに、このツールは、さまざまなスパッタリングプロセスのレシピを自動化し、個々の設定やレシピを保存する機能を備えています。UNAXIS/BALZERS LLS EVOは、汎用性の高い設計と幅広いプロセスにより、研究および生産アプリケーションの両方で広く使用されています。小型ウェーハから大型の長方形・曲面基板まで、様々な基板に適しています。アセットは、金、アルミニウム、チタンなどの様々な材料のフィルム、コーティング、薄膜の製造にも使用できます。結論として、UNAXIS LLS EVOは、さまざまなスパッタリングプロセスで使用できる信頼性の高い堅牢なスパッタリングモデルです。幅広い機能を備えており、様々な基板に適しています。高度なプロセス監視技術と自己完結型の設計により、研究および生産アプリケーションの両方に最適です。