中古 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9237904 を販売中

UNAXIS/BALZERS LLS EVOは、産業用、研究開発用に設計されたスパッタリング装置です。このシステムは、高度な負荷処理とハイスループットアプリケーション向けの統合プロセスオートメーションにより、信頼性の高い大容量スパッタ蒸着用に設計されています。このユニットは、生産モードでの大面積の基板、および研究開発用の小型サンプルの両方にコーティングすることができます。最大16個の独立した個々のプロセスチャンバを組み込むことができ、高い蒸着速度と低い熱予算で高速かつ再現可能なプロセスを実現します。スパッタリングマシンは、平らな表面と深い空洞の両方に安定した均一なコーティングを提供するユニークなスパッタリング技術であるUNAXIS Low Load Sputtering （LLS）を備えています。LLS技術は、高い蒸着速度を維持するために、蒸着領域を常にカバーして動作させ、従来のスパッタ技術よりも均一で高い蒸着速度を実現します。LLS技術は、スパッタリングプロセス中の熱予算を低減し、繊細な基板を保護するのにも役立ちます。このツールには、完全なプロセス制御と再現性を実現する最先端の統合プロセスオートメーションも装備されています。プログラム可能なターゲットトラッキング、プログラムのロードとアンロード、プロセスレシピ、プロセス履歴ログなどが含まれます。さらに、このアセットの革新的な負荷処理により、最大12個のラックを一度にロードすることができます。また、環境に配慮したデザインになっています。ポンプ、排気口、タンク、フィルターなど、すべてのコンポーネントは、高性能とエネルギー効率のために設計されています。この装置は、より快適な作業環境のための低ノイズレベルを備えているため、大量のスパッタリング用途に最適です。UNAXIS LLS EVOスパッタリングシステムは、スパッタコーティングのための汎用性、信頼性、効率性に優れたユニットであり、大量のアプリケーションに合理化されたソリューションを提供します。高度な自動化、統合されたプロセス制御、および低熱予算により、研究開発のための大面積の基板と繊細な基板の両方にコーティングするのに理想的です。