中古 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9210356 を販売中

UNAXIS/BALZERS LLS EVOは、望ましい材料の薄膜を基板に堆積するように設計された最先端のスパッタリング装置です。このシステムは、研究室や生産プロセスでの使用を目的としており、2つのチャンバーで構成されています。各チャンバーには、ターゲット材料をスパッタして適合した均一な薄膜を作成するために働くマグネトロンが含まれています。UNAXIS LLS EVOの設計には、低周波電源が内蔵されており、成膜速度を向上させ、膜厚のばらつきを低減するのに役立ちます。また、蒸着プロセス中にスパッタされた材料の強化イオン爆撃用のデュアルイオン源も含まれています。これにより、基板表面へのイオンエネルギーの増加が可能になり、フィルムの接着性と圧縮応力が向上します。BALZERS LLS EVOは強力な直流（DC）バイアスを備えており、反応スパッタリングや高レートスパッタリングなどのプロセス用に特別に設計されています。これにより、フィルム密度の向上、構造上の欠陥の低減、および接着性の向上により、機能的な薄膜を堆積させることができます。このユニットには、低真空レベルを維持するための圧力管理マシンが装備されており、また、多数の高度なセンサ技術によってサポートされています。それは汚染がないことを保障し、ユーザーに最高レベルの安全を提供するオールラウンド、ガス堅い用具と設計されています。LLS EVOには高度にカスタマイズ可能なソフトウェアもあり、ユーザーは堆積パラメータを設定できます。さらに、資産のユーザーインターフェイスは非常にユーザーフレンドリーであり、特定の要件に応じて処理モデルをカスタマイズするために簡単に調整することができます。全体として、UNAXIS/BALZERS LLS EVOは、優れた性能と信頼性で有名な優れたスパッタリング装置です。その強力な機能と最先端の設計により、研究室や工業生産アプリケーションに最適です。