中古 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9167779 を販売中

UNAXIS/BALZERS LLS EVOはハイブリッドスパッタリング装置で、高DCの利点を兼ね備えた薄膜を製造するための非誘導結合リニアマグネトロン配列を特徴とします。そして低周波a。c。のスパッタリングの技術。このシステムでは、堆積物の品質を評価するための測定も提供しています。本体には、大型のリニアマグネトロンユニットと小型のリニアマグネトロン電源の2つの主要部品があります。リニアマグネトロン電源により、均質で均一なDCを生成できます。マグネトロンチャンバー内のスパッタフィールド。さらに、プラズマのイオン化と材料移動性の向上を促進するために、電源に高出力の低周波a。cパルスが注入されます。この配置は、良好な均質性と均一性を維持しながら、より高い沈着率を可能にします。リニアマグネトロンユニットには6つのスパッタ源が装備されており、それぞれに可変入力電力があり、4つの回転インラインターゲットがあります。このマシンは、ターゲット間のクリアランスで設計されており、フィルムターゲットの変更を容易にします。さらに、マグネトロンチャンバーは、信頼性の高い真空環境を確保するために、ステンレス鋼から構成されています。さらに、線形マグネトロンワーキングチャンバーは、追加のポートに接続されているため、in situ光モニタリング機能が可能です。UNAXIS LLS EVOは、大型基板に対して最高の均一性を保証し、堆積プロセス中の粒子や破片の問題を最小限に抑えるように設計されています。その効率的な動作条件は、より良いプロセス歩留まりのためにエッチングと蒸着の比率を高めます。また、高度なオンボードプロセス制御監視機能を搭載し、正確なスパッタリング性能と信頼性の高い蒸着環境を実現しています。さらに、この資産は、酸化物のアニーリングや堆積サイクルなどの技術の複雑な分析と最適化を可能にします。全体として、BALZERS LLS EVOスパッタリングモデルは、薄膜蒸着およびオプトエレクトロニクス研究のための強力で信頼性が高く効率的なソリューションを提供します。