中古 UNAXIS / BALZERS LLS 502 #9217569 を販売中

UNAXIS/BALZERS LLS 502は、太陽光発電、光学、その他の基板用の薄膜技術の用途向けに設計された最先端のスパッタ装置です。フレキシブルなUNAXIS LLS 502は、高い成膜速度、優れた均一性、均一なフィルム接着性、および最適なプロセス制御のための急速な加熱および冷却および短いサイクル時間を備えています。BALZERS LLS 502は、様々な薄膜の均一な成膜に最適です。誘電体、金属、およびその他の薄膜の堆積に適した低圧マグネトロンスパッタリングカソードが1つのスパッタリングシステムにすべて付属しています。スパッタ力は0-500ワットから調節可能で、必要な厚さを迅速かつ効率的に達成することを容易にします。LLS 502に搭載されたチャンバーは、最大8基の基板ホルダに使用でき、ステップバイステップのプロセスを自動化するプログラムを備えています。また、高真空ポンピングユニットと電極式サンプルマニピュレーターを備えており、優れた接着剤なしの環境を提供します。UNAXIS/BALZERS LLS 502は、サンプルバイアスオプション、穴あきチャンバー、バックフィルガスチャンバー、ベークアウトオプションなどの追加機能でアップグレードできます。これらのコンポーネントは、特定のアプリケーション要件を満たすために、既存のマシンに簡単に統合することができます。UNAXIS LLS 502は、信頼性の高い安全ツールと正確な操作制御を備えているため、ユーザーフレンドリーです。すべてのパラメータは設定が簡単で、コンピュータでシミュレーションされた3Dビューを使用すると、スパッタリングプロセス条件をリアルタイムで監視し、均一で汚染のないフィルムを確保できます。結論として、BALZERS LLS 502は、さまざまなアプリケーションに最適な高度な多目的スパッタリングアセットです。高い蒸着率、優れた均一性、急速な加熱および冷却時間により、薄膜の製造と研究に最適なツールです。