中古 UNAXIS / BALZERS BPS LLS EVO #9240950 を販売中

UNAXIS/BALZERS BPS LLS EVOは、広い領域に薄膜を堆積させるために設計された最先端のスパッタリング装置です。このシステムの主な構成要素には、可変角度および可変パルス長の高度なマグネトロンガン、ならびに様々な基材に均一な蒸着と均一なエネルギー分布を与えるための回転基板ホルダーを備えた蒸着チャンバが含まれています。UNAXIS BPS LLS EVOスパッタリングユニットのマグネトロンガンは、長方形（JEDEC）や最大5,000m2の複雑な形状を含む、大きな基板上のどこでも正確で均一なフィルム成膜を選択的に提供するように設計されています。耐火金属、合金、酸化物、窒化物、ダイヤモンドのような炭素、および抵抗のような良質の金属および誘電体のフィルムの精密な適用を可能にする変数そして特徴の広い範囲が装備されています。さらに、ウェーハキャリア上の有機または無機蒸着中のフィルム層の接着性を向上させるために、オプションでテクスチャ構造層を堆積することができます。BALZERS BPS LLS EVOスパッタリングツールは、クリーンルーム環境で動作するためのロードロックアセットを備え、ロボットアームを備えており、プロセスチャンバ間で素早く基板を交換でき、大量のミニチュア部品の効率的なバッチ処理が可能です。また、最大10nm/minの高い蒸着速度を実現し、フラットパネルディスプレイ上の薄膜蒸着、半導体チップ、高精度マイクロ電子部品など様々な用途に適しています。さらに、BPS LLS EVOスパッタリング装置は、再現可能なプロセスと迅速な応答時間を確保するために高度な制御および監視システムを備えています。高度なフィードバック制御ユニットにより、オペレータは蒸着パラメータをリアルタイムで監視および制御することができ、大面積の基板に一貫した信頼性の高いフィルムコーティングを提供します。また、カスタマイズ可能なパラメーターにより、セットアッププロセスが簡素化され、ユーザーからの頻繁な介入の必要性が低減されます。要約すると、UNAXIS/BALZERS BPS LLS EVOスパッタリングマシンは、薄膜成膜のための高度なツールです。その高度な機能は、均一なエネルギー分布を持つ高品質のフィルムを提供し、その高度な制御ツールは、再現性と迅速な応答時間を保証します。さらに、ロードロックアセットとロボットアームにより、大量の部品の効率的なバッチ処理が可能になります。このように、UNAXIS BPS LLS EVOスパッタリングモデルは、高速で正確で均一な成膜を必要とするさまざまな用途に最適です。