中古 ULVAC ZX-1000 #9156837 を販売中

ULVAC ZX-1000は、信頼性の高い効率的な電源と最適化されたサンプルチャンバー設計を使用して、薄い層の材料を基板に堆積するように設計されたスパッタ装置です。ULVAC ZX 1000で使用されるスパッタリング技術は、大面積の基板の再現性と適合性により、大量生産および量産に適しています。プロセスを開始するには、堆積する材料、または「ターゲット」がスパッタリングチャンバーのコアに配置されます。ターゲットは小型または大型で、通常は純粋な金属または合金でできています。アルゴンのような純粋な不活性ガスがチャンバーに循環して不活性な雰囲気を形成します。次に、ULVAC PDS8000などの強力なマグネトロンスパッタ源をターゲットに適用します。これは、ガスをイオン化し、最大1km/sの速度でターゲットに向かって加速されるイオンを生成します。これらのイオンがターゲットと衝突すると、スパッタリング、または材料の表面から微細な粒子が除去されます。スパッタされた粒子は、さらにイオンが加速され、基板材料に集中するチャンバーの後部にある焦点磁石を通過します。粒子が基板に当たると、その表面に付着して薄膜を形成します。このプロセスは、材料の一貫した均等に分散された預金を確保するために、複数回繰り返されます。ZX-1000シリーズスパッタリングシステムには、ターゲットおよび基板温度、基板速度およびその他の設定を正確かつ効率的に制御するための高度なユーザーインターフェイスも含まれています。これは、毎回完璧なフィルム形成を保証するのに役立ちます。このユニットはまた、自動化された真空避難機を備えており、ダウンタイムの削減と生産性の向上に役立ちます。要するに、ZX 1000は効率的で信頼性の高いスパッタリングツールであり、量産用途に最適であり、さまざまな基板上に一貫した均等に分散された薄膜を作成します。ULVAC ZX-1000シリーズスパッタリングアセットは、高度なユーザーコントロール、自動真空避難、高効率電源により、業界標準のスパッタリングアプリケーションに最適です。