中古 ULVAC ZX-1000 #9156836 を販売中

ULVAC ZX-1000
製造業者
ULVAC
モデル
ZX-1000
ID: 9156836
ヴィンテージ: 2000
Sputtering systems 2000 vintage.
ULVAC ZX-1000は産業レベルのスパッタリングの適用のために設計されている上限のスパッタリング装置です。高いレベルの制御、自動化、効率、柔軟性を提供し、ユーザーは高品質の工業製品を作成できます。このシステムは、真空ユニット、制御装置、およびマルチターゲットスパッタリングチャンバーで構成されています。真空ツールは制御された低圧環境を作成および維持しますが、制御アセットを使用すると、集中位置から圧力や温度などのプロセスパラメータを調整できます。マルチターゲットスパッタリングチャンバーには、2つのスパッタリングターゲットが含まれており、2つ以上の材料を基板にスパッタすることができます。このモデルには、適切なプロセスの再現性と再現性を保証するAdvanced Multichamber Technology (AMT)が搭載されています。また、手動調整や監視なしで簡単にスパッタリングを開始することができます統合された自動起動装置を備えています。さらに、Vacuum IIの自動負荷およびアンロードシステムが含まれており、マルチマテリアルプロセスのスループットと柔軟性を向上させます。スパッタリングチャンバーは、効率的な熱除去とより長い目標寿命を確保するために冷却水です。それは精密なプロセス温度調整を提供する二重源の抵抗の暖房の単位が付属しています。安全な運転と優れたイオンフラックスを確保するために、機械にはイオンレンズと電源ユニットが備わっています。オペレータの安全のために、このツールには真空中のガスのレベルを監視するためのRGAデータ資産が装備されています。アルバックZX 1000には、直感的なグラフィカルインターフェイスを備えた高度な監視、診断、データロギングソフトウェアが付属しています。このモデルは、高速かつ正確な調整で、高いスループットと歩留まりを確保するように設計されています。優秀な性能に加えて、ZX-1000はまた品質管理および環境保護のための厳密な標準への承諾を保障します。この装置は産業等級のスパッタリングの塗布のための理想的な解決です。
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