中古 ULVAC ZX-1000 #293643027 を販売中

アルバックZX-1000は、高性能薄膜の成膜用に設計された先進スパッタ装置です。耐久性に優れたステンレス製のチャンバーを採用し、耐摩耗性に優れた堅牢な設計となっており、産業現場での長期運用が可能です。その主な用途は、金属、酸化物、多層構造を含む薄膜の堆積であり、今日の電子デバイスで高性能を提供します。ULVAC ZX 1000のチャンバーには、保護エリアに取り付けられた3つのスパッタリングターゲットが装備されています。各ターゲットは独立して制御され、複雑なフィルム構造を作成することができます。システムは制御および変数設定のためのコンピュータと容易にインターフェイスすることができます。制御ユニットにより、電力、圧力、流量、室温などのパラメータを正確に制御できます。例えば、+50から-100°Cの間の温度を維持することができます。チャンバーにはケミカルプーリングマシンも装備しており、高いスループット生産が可能です。このツールは、短時間で多数の基板をコーティングするために特別な化学プール処理を利用します。さらに生産性を向上させるために、ZX-1000は最大5000Wの出力を備えた強力な高周波電源を備えています。これにより、安定した信頼性の高いプロセスと成膜が保証されます。ZX 1000には、安全性を確保するための多数の安全保護機能が装備されています。これらの安全機能は、圧力アラームや自動シャットダウン資産など、ユーザーと機器の両方を保護します。さらに、メインチャンバーとスパッタリングターゲットには、スパークやアークを防止する信頼性の高い接地モデルが装備されています。全体的に、ULVAC ZX-1000は、産業および研究用途に最適な信頼性の高い安全なスパッタリング装置です。その耐久性のある設計、高性能、および安全システムは、あらゆる薄膜蒸着プロジェクトに最適です。