中古 ULVAC ZX-1000 #293642880 を販売中

ULVAC ZX-1000は、材料の薄い層を基板に堆積させるために設計されたスパッタ装置です。材料の薄膜をターゲット表面に適用するための堅牢で再現性の高い方法を特長とし、エレクトロニクスや半導体産業、研究開発などに応用しています。このシステムは、高エネルギー直流（DC）スパッタリング源を使用してターゲットから基板に材料を転送する高度なプロセスである真空蒸着スパッタリングを利用しています。優れた接着性と高い再現性を持つ均一な薄膜を生成するように設計されています。ULVAC ZX 1000は、チャンバー、ソース、ポンプの3つの主要コンポーネントで構成されています。チャンバーは、エネルギー損失を低減するために断熱材でコーティングされた円筒形の「ウェットボックス」設計で構築されています。また、プロセスを観察するためのガラス窓も含まれています。浸食の主な原因は、チャンバーの屋根から吊り下げられた平面または円筒形の回転ターゲットです。ソースは直流電源に接続されており、強い電流をターゲットに直接送り、表面材料を蒸発させて基板表面に堆積させます。ターゲットおよび電源に加えて、ZX-1000はまたスパッタイオンポンプとして知られている部屋を避難するためにポンプを利用します。これは混流ドライスクロールポンプで、チャンバーの基部に接続されており、チャンバーを迅速に避難させ、特定の真空レベルを維持するように設計されています。ZX 1000は、金属、シリコン、ガラスなど様々な基板に使用できます。また、冷却ファンと調節可能なスペーサを内蔵した専用の基板ホルダーを装備し、均一なセクタ成膜を実現しています。信頼性とシンプルなスパッタリングユニットに加えて、ULVAC ZX-1000は、蒸着プロセスを最適に制御するためのユーザーフレンドリーなソフトウェアを備えた統合コントローラも備えています。要約すると、ULVAC ZX 1000は信頼性、再現性、正確性に優れた高度なスパッタリングマシンです。薄い層の材料を様々な基板に堆積させることが可能であり、統合されたソフトウェアにより、信頼性と再現性の高い結果を提供しながら、簡単な操作を可能にします。ZX-1000の優れた再現性は、均一な厚さと優れた接着性を備えた高品質のフィルムを保証し、薄膜成膜のための強力で汎用性の高いツールです。