中古 ULVAC Zi-1000 #9399053 を販売中

ULVAC Zi-1000は、幅広い精密材料蒸着プロセスを容易にするために設計された高性能スパッタリング装置です。Zi-1000は、材料の層の正確かつ再現可能な堆積を可能にする完全に自動化されたシステム内で高度な技術を利用しています。U字型の真空チャンバーを採用し、多種多様な高品位かつ重要なプロセスコンポーネントを備えています。ULVAC Zi-1000の中核には高度なマルチターゲットスパッタリングソースがあり、最大限の均一性と高速蒸着を可能にします。この機械は優れた精度を提供し、異なる材料からスパッタリングターゲットを素早く変更することができます。これにより、さまざまな堆積プロセスを実行する際に柔軟性が向上します。ソースは、40kWトランジスタ化されたHFジェネレータであり、高い信頼性を備えた高速蒸着速度を可能にします。Zi-1000はユーザーフレンドリーなGUIインターフェースを介して自動化されており、さまざまな高度なプログラマツールとプログラム可能なモーションオプションを備えています。最大8軸の動作を制御することができ、電子的なエンドストップ技術を使用して正確にオーバーシュートすることができます。さらに、ULVAC Zi-1000は、最大30のプログラム可能な段階でプロセスを節約できる電源管理プログラムを提供しています。Zi-1000のオプションは高度にカスタマイズ可能です。回転およびXY変換ステージ、ロードロック、各種ガス源、高品質の蒸着源など、さまざまな高精度コンポーネントが用意されています。また、温度、蒸着速度、イオン化、総蒸着の正確な測定のためのセンサーのかなりのリストを備えています。ULVAC Zi-1000は非常に強力で信頼性の高いスパッタリングツールです。これは、高度なツールとカスタマイズ可能なオプションの範囲で、比類のない正確さと再現性を提供します。この洗練された資産により、高品質の材料を最も効率的で費用対効果の高い方法で基板に簡単かつ効果的に堆積することができます。