中古 ULVAC Zi-1000 #9354446 を販売中
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ID: 9354446
ウェーハサイズ: 8"
Sputtering system, 8"
Type: Multi chamber
(3) Process module controllers
(5) Chambers
Transfer unit
Chiller
Cables
Monitor rack
AC Power box
UPS
Accessories.
ULVAC Zi-1000は、アルバック株式会社が製造するスパッタ装置で、様々な材料に薄膜を堆積させるために設計されています。このシステムは、高周波、直流、低圧のプラズマをベースにしており、堆積プロセス全体で一貫したレベルで堆積率を維持することができます。Zi-1000は、半導体、誘電体、セラミックス、高精度、均一性、再現性の高いポリマーに薄膜を堆積させることができます。スパッタリングユニットにはAC-DC電源が搭載されており、スパッタガスの種類が豊富なスパッタターゲット材料に最大1000Wのスパッタリング電力を供給できます。この電力は、原子炉内に低圧プラズマ環境を作り出し、さまざまな薄膜材料をスパッタするために使用できるイオン化ガスを生成するために使用されます。フィルム蒸着の均一性を実現するのは、独自のULVAC「スーパーフォーカス」技術により、原子炉内に濃縮・狭い均一なプラズマ分布を作り出し、対象物質の均一なスパッタリングを可能にします。このマシンには、すべてのプロセスパラメータが所望の範囲内に保持され、ツール全体が最適な条件下で動作することを保証するために、さまざまなモニター、センサー、およびコントローラが装備されています。さらに、ULVAC Zi-1000は、過圧保護アセットや地上障害回路遮断器など、運転中に危険な状態が発生するのを防ぐ多数の安全機能を備えています。これらの特徴はすべて、Zi-1000が高度な薄膜蒸着プロセスに理想的な選択肢となります。
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