中古 ULVAC Zi-1000 #9316186 を販売中

ULVAC Zi-1000は、工業および学術研究所で材料の薄膜を堆積するために使用されるスパッタ装置です。スパッタリングシステムは、金属膜、ガラス層、超伝導膜など、さまざまな材料やコーティングを作成するために使用されます。Zi-1000スパッタリングシステムは、大量生産に適しており、優れた品質の反復可能なフィルムで優れたスループットを提供します。アルバックZi-1000スパッタリングユニットは、温度制御を一体化した高度で高性能なDCおよびRFマグネトロンスパッタ蒸着機をベースにしています。これには2つのマグネトロンスパッタリング源が付属しており、スループットを向上させるために高い蒸着速度を生成することができます。このツールは、正確なレイヤーの選択とサイズの軽減を提供するために、加速度計のオフセットで顧客の要件を満たすように設計されています。このアセットはまた、複数のプロセスガス接続を提供し、ユーザーは異なるガスを使用してフィルムやコーティングを堆積することができます。Zi-1000モデルには、ハイエンドのターボ分子真空ポンプや冷却塔など、さまざまな高精度プロセス装置があります。この装置は、高真空ポンプとターボポンプを組み合わせた2段階の真空システムを使用して、非常に低いベース圧力を生成します。プロセス変数の監視と制御は、タッチスクリーンインターフェイスを備えた高度な制御ユニットによって処理され、機械の簡単な操作を可能にします。このツールは、プロセス条件を迅速かつ安全に変更するための自動チューニング機能も提供します。高品質なフィルムのために、ULVAC Zi-1000アセットは最適化されたプロセスチャンバー設計を備えています。これには、均一な加熱のための焼き出しオーブン、均一な冷却のための焼き出しパイプなど、環境保護を提供する多くの機能が含まれています。チャンバーには反射防止コーティングが施されており、反射率が向上し、焦点距離が向上し、ステージ振動が最適化されています。さらに、このモデルにはさまざまなプロセス制御オプションと安全関連機能があります。全体的に、Zi-1000スパッタリング装置は、優れたフィルム品質と再現性で効率的で堅牢な動作を提供します。その高度なプロセス機器と機能により、大量生産および反復可能なフィルムに最適です。