中古 ULVAC Zi-1000 #9157922 を販売中

ULVAC Zi-1000は、アルバック特許取得済みの高度な低真空アーク（ALVA）技術に基づくスパッタ装置です。広い作業圧力範囲にわたって優れたスパッタリング均一性と蒸着速度制御を提供します。システムは、メインチャンバー、RF電源、ALVA電子銃、3つの回転ターゲット、シュラウド、真空ポンプで構成されています。メインチャンバーには、3つの回転可能なターゲット用の4つのポートと電子銃用の1つが装備されています。RF電源は最大1000ワットの電力を供給でき、正確に制御できます。ALVA電子銃は、電子銃の電源と制御ボード、および線形および円形の運動のための電子銃のセットを持っています。沈着不均一性を低減するように設計されています。3つの回転ターゲットはタングステンで作られており、厚さは5mmで、1000°Cまでの温度を処理することができます。外径は300mmです。シュラウドはアルミニウム製で、堆積過程でプラズマを含み、汚染を低減するために使用されます。真空ポンプは、低い作業圧力を達成することができ、毎分500リットルの流量を持っています。このユニットには、ダストフィルター、真空バルブ、圧力計などのさまざまな付属品が含まれています。Zi-1000により、最適な表面仕上げ、優れた接着性、低表面粗さ、優れた地形制御が可能です。それは鋼鉄、銅およびアルミニウムのような堅い、伝導性の表面をコーティングするために完全です。この機械は、厚膜の高い蒸着率、複数のターゲットによる表面地形の精密な制御、腐食ターゲットのためのハードバキューム、精密蒸着のための低基板温度、長い実行時間、高い電力効率、および低い廃棄物と排出量などの高度な機能を提供します。結論として、ULVAC Zi-1000は、さまざまな表面コーティングに優れた性能を提供する高度なスパッタリングツールです。