中古 ULVAC Zi-1000 #9128730 を販売中

ULVAC Zi-1000は、高精度の薄膜蒸着用に設計された最先端の多機能スパッタ装置です。超安定なクローズドループ式ダイレクトドライブスパッタリング技術を採用し、成膜プロセスを精密に制御し、大面積の膜均一性に優れています。このユニットは、低スパッタリング電力レベルを提供する高度なDCまたはPFスパッタリング技術を使用しており、不純物の拡散や粗さなどの望ましくない影響を最小限に抑えた低抵抗フィルムの堆積を可能にします。高度なマルチターゲット5ポケット構成により、最大の柔軟性と高いスパッタレート安定性を実現します。各スパッタの位置のための独立した電源によって、異なったフィルムのタイプは同時に作り出すことができます；これは多層フィルムにとって特に有益です。強力なデジタルプロセッサにより、ユーザーはすべてのパラメータを簡単に制御し、均一で反復可能な堆積物を実行できます。また、ウエハプロファイル測定を提供して、一定の許容範囲内で精密なフィルム蒸着を保証します。さらに、高度なガス制御機械は、薄膜蒸着の高い均一性を確保するために、さまざまなプロセスガスの精密な混合物を提供します。Zi-1000には、リモートまたは手動制御下で複数の基板を導入し、堆積プロセス中の酸化からそれらを保護することができる統合ロードロックツールがあります。この資産にはRFバイアス電圧発生器が装備されており、様々な堆積物のバイアス電圧を5kVまで生成することができます。ULVAC Zi-1000の優れた機能性と柔軟性により、研究開発ラボや産業用アプリケーションに理想的な堆積モデルとなります。その高度な機能により、ユーザーは優れた均一性と優れた精度、完全性、および接着特性を備えた薄膜フィルムを迅速に製造することができます。さらに、優れた設計により、多種多様な基板にわたって迅速で正確かつ再現性のある沈殿プロセスを実現します。