中古 ULVAC ULDiS-900CH #9313966 を販売中

アルバックULDiS-900CHは、薄膜の高スループットスパッタ成膜用に開発されたスパッタ装置です。このシステムは、幅広い材料を堆積させることができ、ユーザーにプロセスパラメータと堆積率の面で大きな自由度を与えます。このユニットは、真空チャンバと電源の2つの主要コンポーネントで構成されており、DCおよびパルスDCスパッタ放電を可能にします。真空チャンバーは、トップローディングアクセスを備えた堅牢な水冷ステンレス鋼構造であり、石英またはステンレス製の壁を備えた長方形の真空容器です。チャンバーは標準ベース圧力が1 × 10-6 Pa以下で、追加のポンプで10-9 Pa以下に達することができます。冷蔵されたコールドトラップとターボポンプ、そして統合されたガス入口と制御も装備されています。電源装置は、カソード電力に高周波パルスを使用した小型の高速スイッチモードジェネレータです。この電源は、連続DCとパルスDCスパッタ放電の両方が可能で、ターゲットに効果的な均一な成膜を可能にします。また、調整可能なバースト周波数で、最大50 W/cm2の電力密度を提供することもできます。パルス幅と出力電圧は、堆積される材料の種類とプロセス要件に応じて調整可能です。ULDiS-900CH材料は、調整可能な静電チャックとレーザーベースの表示ツールによって所定の位置に保持されます。さらに、ウェーハの自動ロード/アンロード・モジュールを備えており、モデル全体がプロセス制御、データ取得、レシピ開発のためのさまざまなソフトウェアインターフェイスと互換性があります。全体的に、ULVAC ULDiS-900CHスパッタ装置は、薄膜の高スループット、大面積スパッタ堆積のための効果的なソリューションを提供します。調節可能な電源システム、調整可能な静電チャック、レーザーベースの表示ユニット、および自動ウェハローディング/アンローディングモジュールにより、薄膜を効率的かつ信頼性の高い堆積方法を提供します。