中古 ULVAC ULDIS-900-CHL #9395811 を販売中

ULVAC ULDIS-900-CHLは、ユーザーが強い蒸着率で均一な薄膜を達成することを可能にする画期的なスパッタリング装置です。このPVD（物理蒸着）システムは、半導体、ディスプレイ、光学アプリケーションなど、さまざまな業界で使用されています。このユニットは、高性能DCと「true-dual RF」スパッタリングを備えているため、非常に効率的で最大の収量を提供します。この二重周波数により、蒸着エネルギーが大きくなり、イオン化が増加し、スパッタ材料の均質性とカバレッジが向上します。ULDIS-900-CHLの主要な部屋は高い空間の均等性のために設計されています、フィルムの層が全体の基質中一貫していることを保障します。また、最大3個の基板を同時に処理するためのモジュールを備えた高スループット転送ロボットを搭載しています。また「、部品プロセス制御」オプションを提供し、各バッチを蒸着プロセス全体の一貫性のために監視することができ、フィルムの不一致を排除します。ULVAC ULDIS-900-CHLには、渦電流のプリクリーンおよびポストクリーナー、ならびに室内の温度を安定した圧力を維持しながら制御するための冷却システムが内蔵されています。これにより、チャンバー内の粒子が過労するのを防ぎ、ターンアラウンドタイムを短縮できます。ステンレス鋼の基盤および部屋はまた防蝕で、壁に付着から沈殿物を防ぐために帯電防止終わりがあります。これにより、ダウンタイムがほとんどなく効率的な運用が促進されます。ULDIS-900-CHL機械にまた利用できる任意部品の広い範囲があります、異なった沈着ターゲットのための自動化された基板のサイズの検出の特徴およびさまざまなエッチング・モジュールを含んでいます。全体的に、ULVAC ULDIS-900-CHLは、これまでにない蒸着速度で最適な均一な薄膜を提供する非常に強力なPVDスパッタリングツールです。これは、ユーザーが効率、精度、安全性を向上させるさまざまなプロセスを実行することを可能にする多目的な機能の範囲を提供します。