中古 ULVAC ULDIS-200UCP #9266626 を販売中

アルバックULDIS-200UCPは、安定した高品質のスパッタリングプロセスを提供する高性能マグネトロンスパッタリング装置です。直径200mm、外径が大きい6ターゲット構成と均一なスパッタリングで構成されています。最適化されたプラズマ生成技術と高度なカソード材料技術により、低ストレスおよび低変形スパッタリングが可能になり、安定した信頼性の高い再現性のあるプロセスが保証されます。ULDIS-200UCPは、高精度のデルタ型ターゲット回転システムと6軸ロボットチョッパーを備えています。さらに、オープンチャンバー設計と高効率のドライタイプ5段ろ過ユニットにより、複雑な形状の基板においても、成膜均一性を向上させます。また、精密な温度制御を可能にする高精度のクローズドループ温度制御機を備えています。ULVAC ULDIS-200UCPはまた、プロセス圧力範囲と真空範囲の調整制御を可能にする、複数のプロセスのサポート構造を持っています。これにより、薄膜堆積物などのスパッタリング用途に効率的な機械となります。さらに、オートチューニングツールは、ターゲットごとにプロセスパラメータを個別に調整することができ、最適化された安定したスパッタリング性能を実現します。さらに、この資産は、生成されたスパッタ粒子を回収して再利用できる統合されたエネルギー回収メカニズムを備えており、廃棄物の削減とコストの削減につながります。このモデルには、温度アラーム、圧力検出センサー、過負荷保護などの最新の安全機能も備えています。さらに、高度なソフトウェアスイートにより、ユーザーはスパッタリングプロセスをカスタマイズするためのプロセスパラメータを監視、制御、管理できます。結論として、ULDIS-200UCPは安定した高品質のスパッタリングプロセスを可能にする独自の機能を備えた高度で信頼性の高いスパッタリング装置です。マルチプロセスサポート構造により、正確で費用対効果の高いスパッタリングを可能にし、エネルギー回収機構により効率的なプロセスを実現します。また、あらゆるユーザーのニーズに合わせて、包括的な安全機能とカスタマイズ可能なスパッタリングプロセスを備えています。