中古 ULVAC SV-9040-T14 #9055121 を販売中

ULVAC SV-9040-T14は、半導体、太陽電池、フラットパネルディスプレイなど、さまざまな産業で高品質の薄膜を製造するために設計された高性能スパッタリング装置です。マルチターゲットユニット機能、高生産性、大型基板上のフィルムの均一性などの特長を取り入れた高度なスパッタリングシステムです。このマシンは、4つの14インチターゲットからなるマルチターゲット設計を採用しており、スパッタコーティング工程を正確に制御できます。ターゲットは、基板上のフィルムの最適な均一性を確保するために、C字型パターンで配置されています。さらに、このツールは、最大300mmまでの基板に最大2800nm/minの高い蒸着速度を提供します。このアセットは、薄膜の効率的な再スパッタリングも可能であり、望ましいコーティングレベルを維持するための理想的な方法を提供します。SV-9040-T14は、堅牢な構造と精密なエンジニアリングを組み合わせ、優れた位置精度、温度安定性、およびプロセスの一貫性を備えた信頼性の高いスパッタリングモデルを提供します。この装置には、スパッタ蒸着プロセスを最適に制御するための強力なRFパワーシステムが装備されており、正確で信頼性の高いスパッタ蒸着用のプログラム可能な基板ホルダーを使用しています。また、スパッタエッチング、アニール、スパッタ成膜などの複雑なプロセスを自動化する自動操作モジュールも搭載しています。このモジュールは高度にカスタマイズ可能でユーザーフレンドリーで、ユーザーは要件に合わせてプロセスパラメータを簡単に変更できます。この機械には、安全で生産的な操作を保証するための高品質の安全機能がさらに装備されています。ULVAC SV-9040-T14は、高品質の薄膜の高精度スパッタリングに理想的な選択肢です。このスパッタリングツールは、均一性、精度、信頼性を備えた高品質の薄膜を高速で製造することができます。オートメーション機能、マルチターゲット設計、堅牢な構造により、SV-9040-T14は要求の厳しいスパッタリングアプリケーションに最適です。