中古 ULVAC SV-4540 #9313930 を販売中

ULVAC SV-4540スパッタ装置は、さまざまな形状、サイズ、重量の材料を基板に正確にコーティングするように設計されています。このシステムは、デュアルDCおよびRF電源、高度なスパッタリング技術、および最適化されたプロセスシーケンスを使用して、優れたコーティング品質と信頼性を提供します。SV-4540は高度に自動化された多機能ユニットであり、幅広いプロセス能力を可能にします。最大4つのスパッタ源、2つのポンプ、および高温インライン温度コントローラをサポートします。反応スパッタリング、マグネトロンスパッタリング、低圧スパッタリング、イオンビームスパッタリングなど、さまざまな高真空プロセスオプションを提供しています。この機械は、プロセスのガス制御のためのオプションを提供します。タッチスクリーン対応の先進HMI （Human-Machine Interface）を採用。このツールはまた、高真空インターロックシステム、in-situ自動圧力制御、およびプロセスコントローラの幅広い選択肢を備えています。ULVAC SV-4540は、優れた性能と費用対効果を特徴としています。自動化されたユーザーフレンドリーな制御アセットにより、プロセスの最適化とプロセスの再現性の向上を実現します。このスパッタリングモデルには、アクティブな圧力制御と高速パルスDCソースが組み込まれており、さまざまなプロセスアプリケーションに均一性と高い再現性を提供します。SV-4540スパッタリング装置は、高精度のエンジニアリングと信頼性の高い操作によって支えられています。ボード上の部品認識、正確なスパッタリング制御、さまざまなサイズや形状の基板に対応するための大きなチャンバーサイズを備えています。また、精密な材料制御が特徴で、均一な厚さの材料を堆積させることができます。オールインオールのULVAC SV-4540スパッタリングシステムは、正確な操作、優れたレイヤカバレッジと均一性、および費用対効果の高い結果を提供します。このユーザーフレンドリーなユニットは、高い再現性を備えたプロセス最適化と信頼性の高い基板コーティングを可能にし、幅広いプロセスアプリケーションに最適です。