中古 ULVAC SRH-820 #9055119 を販売中

アルバックSRH-820は、薄膜、バイオマテリアル、半導体デバイスなど、さまざまな材料の製造に広く使用されている高度なスパッタリング装置です。高度な制御システム、高効率、高精度を備えています。ULVAC SRH-800シリーズは、8kWの最大出力を有し、無線周波数と直流マグネトロンスパッタリング源の両方を備えています。スパッタリング源のパワーは0から8kWまで調整可能で、幅広い用途に対応できます。ニーズに応じて、RFとDC電源を一緒に使用することも、別々に使用することもできます。スパッタレートも調整可能で、制御可能な薄膜蒸着速度を提供します。ULVAC SRH 820ユニットには、高度な流体流量制御および温度制御システムが装備されており、正確で再現性の高い結果を提供します。チャンバー内の圧力も低真空から超高真空まで簡単に調整できます。これは、より信頼性の高い基板洗浄だけでなく、薄膜のより良い接着を可能にします。ULVACマシンは、ユーザーがフィルム成膜のプロセスを監視し、リアルタイムで必要な調整を行うことができるリアルタイム監視ツールを持っています。アセットには脅威安全機能も内蔵しており、ユーザーと環境の安全性を確保します。SRH-820は高いレートスパッタリングが可能であり、高品質の薄膜表面を有するより高い蒸着率を意味します。これは、薄膜太陽電池の生産や薄膜エレクトロニクスなどの分野に最適です。超伝導材料の製造にも適しています。SRH 820には幅広い標準アクセサリーとオプションパーツがあり、ユーザーに大きな柔軟性を提供します。専用オプションにより、薄膜成膜パラメータを調整することができ、より高い精度と再現性を実現します。ULVAC SRH-820は、優れた再現性と精度で高品質の薄膜を生成する高速かつ効率的なツールをユーザーに提供します。様々な薄膜用途に適しており、様々な材料の加工に最適です。