中古 ULVAC SRH-820 #293607565 を販売中

ULVAC SRH-820は、幅広い堆積用途向けに設計された高性能スパッタリング装置です。最新のスパッタリング技術を取り入れ、優れたコーティングの均一性、再現性、スループットを提供します。このシステムは、反応スパッタリングに最適であり、酸化物、窒化物、アモルファスおよび結晶構造を含む様々なフィルムタイプを生成することができます。ULVAC SRH 820は、高度なマグネトロンスパッタリングユニットと基板の最大イオン爆撃のためのユニークなアノード構成を利用しています。これは、優れた接着性と最小の接着障害を提供します。さらに、このマシンは、最高品質のフィルム形成を確保するために、電流、圧力、流量などのさまざまなプロセス変数を備えています。SRH-820の最も特徴的な特徴の1つは、デュアルターゲットテクノロジーです。これにより、2つのターゲットを1つのシングルチャンバーに収容でき、個々の電源と制御が可能になります。各ターゲットは独立して操作され、監視され、大きな基板上でも優れた均一性を提供します。独立したターゲットは、さまざまな膜厚要件を達成するために、異なるレートで独立してスパッタすることができます。SRH 820は、高出力および複雑なプロセスアプリケーション向けの冷却機能も備えています。クローズドループ冷却ツールまたは空冷アセットの選択が可能です。クローズドループ冷却モデルは、優れた放熱性を提供し、基板上の均一な蒸着を保証します。ULVAC SRH-820はオープンアーキテクチャとして設計されており、酸素、窒素、アルゴンなど、さまざまな互換性のあるプロセスガスとの使用に適しています。また、PLC制御の安全ロジックにより、プロセスの安定性を確保し、基板や装置への損傷のリスクを最小限に抑えながら、最高品質の蒸着を保証します。ULVAC SRH 820は広範囲のターゲット材料、プロセスガスおよび基質を含んで拡大する機能と非常に多目的です。堅牢な性能と高品質の仕上げにより、高度なコーティング業界で急速に選択肢となっています。