中古 ULVAC SRH-530 #9409839 を販売中

アルバックSRH-530は、アルバック株式会社が設計・製造したスパッタ装置です。このシステムは主にフィルム製造用途に使用され、高真空マグネトロンスパッタリングプロセスを利用しています。スパッタリングユニットは、真空チャンバーとフィルムの沈着材料を輸送および供給するためのメカニズムのセットで構成されています。真空チャンバーは10-2から10-6の範囲の圧力の下で作動するように設計されています。それは回転式ポンプ、ターボ分子ポンプおよびターボ分子ブースターポンプが装備されています。このマシンには、RF電源、RFマッチングネットワーク、RFプラズマ源、スパッタリングターゲット、シャトル機構も含まれています。SRH-530はよく制御されたマグネトロンによって放出されるフィルムの沈殿プロセスを提供します。このツールで使用されるRF電源は、ターゲットに安定したDC電圧と電流を提供します。RFマッチングネットワークとプラズマソースは、プラズマを生成してターゲット材料をスパッタします。シャトル機構は、ターゲットのアセットへの転送とターゲットの基板へのアライメントを支援します。また、フィルム成膜プロセスにおいて無汚染環境を実現しています。この装置は、RFパワーレベル、ガス流量、基板温度などのスパッタリングプロセスパラメータを高精度に制御します。ガス流量は主にマスフローコントローラによって調整されます。基板温度は、温度コントローラを使用して制御することができます。このシステムはまた、データ管理とプロセス制御のための強力なソフトウェアを備えています。アルバックSRH-530スパッタリングユニットは、反射防止コーティング、保護コーティング、導電層、光学フィルムなどの高性能フィルムの製造に最適です。この機械は、半導体、自動車、エレクトロニクス、光学など、いくつかの産業で使用できます。SRH-530はコンパクトなデザインで操作も簡単です。その性能と精度は、フィルム成膜アプリケーションのための高品質の選択肢となります。