中古 ULVAC SRH-420 #9381707 を販売中

ULVAC SRH-420は、幅広い用途に最適なシングルチャンバースパッタ装置です。標準構成では、最大RF電力5000ワットの高出力4 マグネトロンRFソース、最大基板サイズ16インチのロードロックチャンバーなど、すぐに使用できるコンポーネントを使用しています。SRH-420には、グラファイトロックチャンバー、フィルム接着プロセスを強化するイオンソース、ソフトウェアベースのプロセスコントローラがあり、セットアップと操作が簡単です。このシステムには、シリコン、ガラス、石英、およびさまざまなセラミックスなどの基板も選択できます。これにより、さまざまな真空スパッタリング用途において、汎用性と優れたカバレッジを提供します。アルバックSRH-420は、粒子密度を最適なレベルに保つ高効率スパッタリングプロセスを提供します。このユニットは、精密なプロセス制御のためのユニークなガス制御モジュールを採用しています。アルバックのガスモジュールは正確で、信頼できるコントロールパネルと容易に作動可能であるように設計されています。「オンザフライ」のガス制御を提供しています。SRH-420はまた、アルミニウム、タングステン、窒化チタンを含むスパッタリングターゲットの広い範囲を提供しています。これらのすべてのターゲットは、プロセスの洗練のために再活性的にスパッタすることができます。ULVAC SRH-420には、信頼性と一貫した結果を得るために、マルチガス制御機、温度制御モジュール、真空ポンプ、水冷ツールも含まれています。これにより、動作条件の変動にも十分なプロセスセキュリティを提供します。さまざまな診断機能により、クローズドループのプロセス制御が維持されます。SRH-420は、多くの業界、アプリケーション、プロセスの高い要求に応えるために独自に設計された最先端のスパッタリング資産です。全体的に、ULVAC SRH-420スパッタリングモデルは、多くのアプリケーションで可能な限り最高のフィルム堆積物を達成するための非常に効率的で信頼性の高いツールです。その高出力4 マグネトロンRFソースは、スパッタリング処理時間を改善するために最大5000ワットの電力を供給することができます。反応性の高いスパッタリングターゲットを幅広く提供し、プロセスセキュリティを維持するために複数のガス制御、温度制御、水冷モジュールを備えています。最後に、SRH-420には直感的なソフトウェアベースの機能と簡単なセットアップと操作を可能にするコントロールパネルがあります。