中古 ULVAC SRH-420 #9375715 を販売中

ULVAC SRH-420は、薄膜成膜から表面改質まで、さまざまな用途向けに設計された強力で信頼性の高いスパッタリング装置です。このモデルは、最大目標サイズ420mmの最大5つのターゲットを容易に収容できる1つのチャンバー設計を備えています。高真空システムは、3Paから5Paまでの圧力が可能であり、薄膜の信頼性の高い蒸着に必要な環境を提供します。SRH-420は、最適な蒸着パラメータを確保するために強化された圧力制御ユニットが装備されています。プロセス条件の変化を認識し、それに応じて補償することができ、より速く、より効果的な堆積をもたらします。また、一貫した膜厚を維持することができ、コート同士の目立つ違いなく複数の層を堆積させることができます。このツールには、3相DCマグネトロン電源が搭載されており、ターゲットごとに最大1kWの電力を供給できます。この強力なアセットにより、素材への迅速な蒸着速度と優れたフィルム接着が可能です。Universal Gas Flow Control Model （UGC）は、プロセスの大気を正確に制御し、真空とガス支援の両方の蒸着を可能にします。アルバックSRH-420スパッタ装置も安全性を考慮して設計されています。これは、パラメータがユーザーの仕様に一致しない場合、システムが動作しないようにする強力なインターロックを装備しています。さらに、操作中の特定のエラーを検出し、ユーザーに警告する包括的な安全モニタユニットが組み込まれています。これにより、大幅な運用ミスのリスクを軽減できます。全体的SRH-420、スパッタリングマシンは、さまざまな薄膜成膜および表面改質用途向けの強力で信頼性の高いソリューションです。これは、最大目標サイズ420mmの1チャンバー設計と、強化された圧力制御機能を提供します。また、強力なマグネトロン電源を備えており、ターゲットごとに最大1kWの電力を供給できます。安全性に重点を置いており、運用ミスを低減するための包括的な安全監視ツールが組み込まれています。