中古 ULVAC SRH-420 #9156838 を販売中

アルバックSRH-420は、頑丈な薄膜を作ることができる高性能スパッタリング装置です。アルゴン、窒素および他のガスの原子スケールの層を、制御された大気中のターゲットに堆積させることによって作動する。これにより、薄い金属、酸化物、窒化物などの望ましい化合物が均一に堆積します。スパッタシステムは、1つのマスソースから最大4つのスパッタリングをサポートする革新的な機能を備えた1つまたは複数のソース配置を使用します。各スパッタリング源は、最大3ワットのプラズマ電力を生成することができ、自動電源制御と互換性があります。これにより、堆積率を正確に制御できます。膜厚は専用計測ユニットを使用して正確に測定され、ターゲット組成、層の接着、膜厚など、さまざまなユーザーが選択可能です。スパッタリング機械にフィルムの沈着率、温度および圧力を監視し、変更する機能のようなプロセス制御機能の範囲があります；シリコン、酸化インジウム、ガラス、ステンレスなどの様々な基材を制御する能力だけでなく、。このツールはまた、アルミニウム、銅、金、銀などの材料を含む何百ものターゲットから選択することができ、包括的なスパッタリングターゲット管理資産を備えています。SRH-420は、高品質の薄膜の成膜に最適な信頼性と費用対効果の高いスパッタモデルです。中規模から大規模スパッタリングの競争や研究実験に最適な堅牢でユーザーフレンドリーなデバイスです。均一な薄膜に欠かせない優れた低温成膜特性を提供しながら、高い再現性と均一性を実現します。その結果、ULVAC SRH-420は様々な業界向けに信頼性の高い蒸着ソリューションを提供しています。