中古 ULVAC SRH-420 #293830631 を販売中

ULVAC SRH-420スパッタ装置は、半導体デバイスを作成するために特に薄膜を作成するために利用される汎用性と効率的なツールです。このシステムは、6インチのインライン統合真空チャンバ構造を備えた5軸ロボットモーションユニットを備えています。機械は0-15°の手動で調節可能な角度の高さの調節およびスパッタターゲットの精密ターゲットを含んでいます。SRH-420のさらなる利点には、スループット率の向上とワークフローの改善につながるフットプリントの小型化が含まれます。ツールの中心にある高性能RF（無線周波数）ソースは、単一の周波数ソースであり、4kWまで動作し、一貫した均一な出力を提供します。RF電源は、直接接触を介してスパッタターゲットに加え、非接触誘導性カップリングを適用することができ、誘電体フィルムをスパッタすることができます。さらに、最大4つの材料を同時に成膜することが可能で、多層および多成分の薄膜を製造することができます。ULVAC SRH-420は、オンボードグラフィカルユーザーインターフェイスを介して動作し、ユーザーは、ポンプダウン、スパッタクリーニング、基板の読み込み/アンロード、基板監視などのさまざまなプロセスを実行することができます。また、レシピを保存したり、詳細なプロセスレポートをリアルタイムプロセスデータとともに生成したりすることもできます。それは水素、アルゴン、窒素、酸素および他の不活性ガスのようなさまざまなプロセスガスと互換性があります。SRH-420スパッタリングモデルは、フラットパネルディスプレイ、半導体デバイス、MEMS、その他の薄膜技術など、さまざまな業界で使用できる、最高品質の薄膜を提供するように設計されています。この装置は汎用性が高くユーザーフレンドリーであり、薄膜成膜のための信頼性と費用対効果の高いソリューションを探している企業にとって理想的な選択肢です。