中古 ULVAC SRH-420 #293821025 を販売中

ULVAC SRH-420は、半導体産業のリーディングサプライヤーであるULVACが設計・製造したスパッタ装置です。その主な目的は、基板または半導体ウェーハの表面に金属などの薄い層を堆積させることです。SRH-420は1つのシステムに4つのプロセス部屋を備えており、複数の生産プロセスのニーズをカバーする高性能スパッタリングを提供します。これは、ユーザーが一度に2つの材料をスパッタすることができます特別なデュアルソースターゲットドライブユニットが装備されています。この機能により、全体的な処理が高速化され、フィルムの均一性が向上します。高品質なフィルムを確保するために、アルバックSRH-420はさまざまなタイプのスパッタリングプロセス制御機能を提供しています。スパッタされた領域を安定させ、粒子の影響を低減するユニークなバイアス電圧制御マシンが装備されています。また、フローティングゾーンプロセス（サブプレッシャースパッタリング）により、コーティング工程における均一性と密着性を向上させます。SRH-420にはベベルフィルムも装備しており、基板の濡れ性を高めて耐久性を向上させています。ULVAC SRH-420の最大基板サイズは8 「X 4」です。このツールは、ガラス、シリコン、石英、および一部の金属など、さまざまな基板と互換性があります。この資産は2つの独立したターゲットを使用しており、生産プロセスで複数の材料を使用することができます。そのスパッタリングプロセスは、グロー放電、DCマグネトロン、シーケンシャルスパッタリングなど、さまざまな方法で動作するように調整することができます。SRH-420は、他の同様のシステムよりも高いスループットと高い処理精度を提供します。高度なプロセス制御機能と機能のユニークな組み合わせは、製品の信頼性を高める高品質のフィルムを生成します。モデルはまた、信頼性が高く、堅牢で、優れた人間工学を提供します。これは、ダウンタイムを減らし、歩留まりを増加させる、長時間の連続運転のために設計されています。全体的に、ULVAC SRH-420は、優れたスループットとフィルムを約束する信頼性の高い機能満載のスパッタリング装置です。このシステムは多数のプロセス制御機能を提供し、いろいろな基質のための良質のフィルムを作り出すことができます。スパッタリングシステムから最高レベルの性能を必要とする人にとっては究極の選択です。