中古 ULVAC SPW-030S #9034013 を販売中

アルバックSPW-030Sは、半導体などの高精度サンプル調製用に設計されたスパッタ装置です。平面マグネトロンスパッタリング源、双面シャッター、高真空室を備えています。また、高効率なスパッタリングプロセスと安定したチャンバー循環を実現する高度なスパッタリングソース冷却ユニットSPW-030S搭載しています。また、信頼性の高い自動スパッタリングパワー制御と均一なスパッタリングレートを備えています。ULVAC SPW-030Sの真空チャンバーには、最大1 x 10-6 Torrの真空を実現できるセラミックターボポンプが装備されています。また、内部の発生角度（AOI）ビューポートを備えており、ユーザーはプロセスをリモートで正確に監視できます。また、大きなトンネルウィンドウを備えており、プロセス監視のための十分な表示領域を提供しています。スパッタリングツールSPW-030S、金、銀、アルミニウム、チタン、シリコンを含む多数の材料を処理することができます。直流（DC）または無線周波数（RF）のいずれかの電力で動作するように設計されており、さまざまなアプリケーション固有のプロセスで使用できます。さらに、このアセットには、ユーザーがさまざまなプロセス要件に応じてガス流量と圧力を調整できるガス供給モデルがあります。アルバックSPW-030Sスパッタリング装置は、半導体やその他の材料の精密なサンプル調製に最適で、高い均一性と効率を備えています。読みやすい制御システム、高度な冷却機能、および驚くべきスパッタリング安定性により、信頼性と信頼性の高いプロセスを保証します。全体として、SPW-030Sは高度で堅牢なスパッタリングユニットで、スパッタリングプロセスを優れた制御を提供します。