中古 ULVAC SMR-2110E #9078345 を販売中

ULVAC SMR-2110Eは、さまざまな業界で使用するために設計された高性能スパッタリング装置です。その柔軟な構成と高精度製造は、学術研究と産業研究の両方で優れた性能と信頼性を提供します。SMR-2110Eは、アルミニウム、合金材料、セラミック誘電体、酸化物など、最大10のターゲット材料をサポートする多基板スパッタ蒸着システムです。高周波マグネトロンと急速ガス流量ユニットを使用して、優れた均一性と高い蒸着率を提供します。そのモジュラー機能は、簡単なメンテナンスと修理操作を可能にします。ULVAC SMR-2110EにはAl 2 O 3/SiO 2ターゲット分離チャンバが装備されており、最大のサンプル保護を保証します。基板ホルダーは、スパッタリング時に優れた均一性と最小限のサンプルドリフトを提供するように設計されています。複雑な多色および多層スパッタリングプロセスのプログラミングを簡素化する直感的なプログラミングソフトウェアインターフェイスが付属しています。また、最先端の真空技術を採用し、2。5x10-6Paの低圧を実現し、イオンクリーンツールを搭載し、粒子除去性を向上させ、クリーンな真空環境を実現しています。プログラム可能なガス注入および高度なデジタル制御ガス供給システムにより、複数のガス処理を行うことができます。SMR-2110Eには高速成膜オプションがあり、ターゲット材料に応じて最大30ミクロン/秒の薄膜成膜速度を実現します。これは、優れた再現性とプロセス制御を提供し、信頼性と再現性の高い結果をもたらします。スパッタリング速度は、外部電源または付属の外部入力機能で微調整できます。全体として、ULVAC SMR-2110Eは優れたスパッタリングアセットであり、さまざまなアプリケーションに対応できます。その高精度製造、高度な真空技術、直感的なプログラミングソフトウェアは、信頼性と正確なパフォーマンスを可能にします。調節可能なスパッタリングレート、さまざまなターゲット材料、優れた再現性により、このモデルは非常に汎用性が高く、さまざまな研究要件に適しています。