中古 ULVAC SME-200LDM #9055124 を販売中

ULVAC SME-200LDMは、さまざまな産業用コーティングのニーズに合わせて設計された最先端のスパッタ装置です。これは、高い蒸着率の機能とともに、プロセスパラメータを制御するだけでなく、層の蒸着の優れた均一性を提供します。このシステムには、高度なマルチポケットスパッタターゲットアセンブリが装備されており、直径80mmの最大12の丸いターゲットが均一で正確なフィルム蒸着を提供できます。マルチポケット配置により、オペレータは異なるスパッタリングターゲットを使用したり、堆積プロセスのさまざまな場所にターゲットを移動させることができます。SME-200LDMは、基板とターゲットの間に150mmの隙間がある真空チャンバーを備えています。これにより、スパッタリング面積が大きく、蒸着率が高く、直径330mmまでの基板をコーティングすることができます。高効率オイルフリースクロールタイプのダイレクトドライブメカニカルポンプを搭載し、迅速な避難を可能にし、ダウンタイムを最小限に抑えます。また、外部真空ポンプにも対応し、さらなる性能向上を図っています。ULVAC SME-200LDMは、最高レベルの均一性を確保するために、基板曲率と基板とターゲット間の変動ギャップを補正するダイナミックマイラーマスクスキャナを搭載しています。また、高品質なコーティングを迅速に実現するために、ダイナミックシャッターアセンブリも備えています。シャッターアセンブリは、基板形状や形状の変化に関係なく、均一な蒸着速度を維持するためにシフトすることができます。SME-200LDMには、独自のプロセスウィンドウコントローラ（PWC）も装備されています。PWCは、蒸着速度、膜厚、表面トポロジのリアルタイム解析を利用して、スパッタリングプロセス全体を最適化し、より高いスループットと品質を実現するソフトウェアパッケージです。最後に、このツールは、完全なプロセス制御と監視を可能にするコントローラパネルで構成されています。すべての資産パラメータは、ユーザーのニーズに合わせて簡単に設定、監視、および調整することができます。これにより、スパッタリングモデルは非常に柔軟性が高く、ユーザーは望ましい沈着プロファイルを達成するために素早く調整することができます。全体的に、ULVAC SME-200LDMは、優れた均一な制御ゾーンのカバレッジと高い沈着率を提供できる高度なスパッタリング装置です。その汎用性と広範な機能により、さまざまなコーティングニーズに最適です。