中古 ULVAC SME-200J #9357605 を販売中

アルバックSME-200Jは、アルバック・テクノロジーズ株式会社が製造するスパッタ装置です。薄膜成膜、接着、電極加工などの汎用材料スパッタリングや用途向けに設計されています。ULVAC SME 200 Jは、ベースキャビネットとターゲットホルダーユニットを備えた自己完結型スパッタリングシステムで、作動チャック、多数のサンプルホルダー、電源カバー、排気装置、スパッタリング源（最大8発）を備えています。SME-200Jの設計により、複数の電源を異なる電源設定で同時に動作させることができ、MOS（金属酸化物半導体）成膜、薄膜成膜、電極加工などのプロセスに適しています。蒸着速度は用途に応じて簡単に調整できます。ターゲット材料はアルミニウム、銅、金、チタン、ニッケル、カーボン、等から成っています。対象材料に応じて、スパッタリングガスはアルゴン、窒素、水素、または酸素ガスのいずれかから選択されます。スパッタプロセス間のサンプルチェンジオーバーに必要な時間を最小限に抑えるために、ロードロック機構が提供されています。SME 200 Jはコントローラを備えているため、電流密度、チャンバー圧力、電力、ガス流量などのスパッタリングパラメータを簡単に設定および維持できます。さらに、ツールモニター画面には、温度、圧力、チャンバーの状態、スパッタリング時間の合計などのプロセス条件が表示されます。ULVAC SME-200Jスパッタリングアセットは、多くの薄膜成膜アプリケーション向けの汎用性の高いツールです。信頼性が高く、プロセスパラメータの容易な操作と調整が可能です。また、複数のソースを同時に動作させることができ、望ましいスパッタ出力を迅速かつ安全に実現できます。