中古 ULVAC SME-200J #9266438 を販売中

ULVAC SME-200Jスパッタリング装置は、薄膜成膜における様々な金属化プロセス向けに設計された汎用性の高いシステムです。スパッタプラズマを生成するRF電源と、プロセスを収容するチャンバーで構成されています。このユニットは、さまざまなターゲットやガスに対応でき、幅広いスパッタリング技術を提供します。ULVAC SME 200 Jスパッタリングチャンバーは、ターゲットに垂直に配置された2組の磁石を備えた平面マグネトロンを使用し、プラズマ密度の制御を可能にします。この機械はまたスパッタされた材料の均等性を最適化するために磁石の回転が可能です。このチャンバーには、40cmのターゲット2つ、ターゲットのフィードスルー、ガスのフィードスルー、チャンバーの避難用の真空ポートが含まれています。また、汚染リスクを低減するための特別な通気配置もあります。スパッタリングプロセスを制御するために、このツールにはプログラマブルインターフェイスが装備されています。オペレータは、プロセスパラメータと操作のシーケンスを設定できます。目標電流、圧力、ガス制御、プラズマ条件などのパラメータを設定して監視することができます。このインターフェイスはまた、レシピの保存とプラズマ測定の監視を可能にします。SME-200Jはフィルムの均一なコーティングを用いる基質の大きい区域を処理します。緊急停止、温度モニター、セキュリティ資産で構築されています。アルミニウム、ステンレス、石英、プラスチックなど、さまざまな種類の基板に対応しています。スパッタリングモデルは、液晶パネルや太陽電池製造などの薄膜蒸着プロセスに最適です。SME 200 Jスパッタ装置は、強力で汎用性の高い薄膜蒸着装置です。調整可能なパラメータ、大きなスパッタ領域、および幅広いスパッタリング技術を備えたULVAC SME-200Jは、多くの薄膜プロセスに有効なツールです。