中古 ULVAC SME-200J #293609370 を販売中

ULVAC SME-200Jは、薄膜コーティング用途で広く使用されている垂直方向に配置されたスパッタリング装置です。真空チャンバー、回転スパッタヘッド、電源の3つの主要コンポーネントで構成されています。チャンバーは通常、ステンレス鋼で構成されており、ポンピングポート、プロセスガス、蒸着バルブが含まれています。部屋にまた表面汚染を除去する避難プロセスがあります。回転スパッタヘッドには、1つ以上の陰極が含まれています。これには、電源を使用してチャンバー内にイオンを生成します。スパッタヘッドは、薄膜を基板に堆積させるための運動量を供給します。このシステムには、調整可能なガス圧力レギュレータとプロセスガスバルブが含まれており、スパッタリング処理中にプラズマ雰囲気を調整するために使用することができます。単位は陰極に加えられる交流の流れ（AC）によって動力を与えられます。陰極が動くにつれて、制御された空間パターンに電場を作り出します。この電界は基板に電荷を与え、薄膜を基板に堆積させる。このプロセスはスパッタリングとして知られています。スパッターヘッド内のスパッタ源は、薄膜が基板上に均一に堆積していることを確認する責任もあります。成分材料とキャリアガスの両方を基板に噴霧し、成分を均一な層に堆積させます。スパッタ源を使用して、さまざまな形状とサイズのキャリアガスを噴霧することで、薄膜の厚さを変更することもできます。スパッタ電圧、パワー、蒸着圧力、反応ガスの流れなどのプロセス変数を制御することにより、薄膜は特定の用途に必要な特性に到達することができます。ULVAC SME 200 J機械は薄膜コーティングの塗布のための信頼でき、費用効果が大きい解決です。その特徴は、自動車、光学、医療機器のコーティングなど、さまざまな産業用途に適しています。スパッタリングツールの効率的な設計と変数を制御する能力により、薄膜を堆積させて任意のアプリケーションに必要な特性を持つ部品を製造するのに最適です。