中古 ULVAC SME-200J #293597222 を販売中

ULVAC SME-200Jは、半導体、マイクロエレクトロニクス、ハードディスクメディアおよびコンポーネント、オプトエレクトロニクス、光学デバイスなどの業界で使用するために設計された、最高レベルのスパッタリング装置です。高度な成膜チャンバ、効率的なロードロックチャンバー、および精密な制御を備えた自動スパッタリングシステムです。ULVAC SME 200 Jに有効な長方形の形の沈殿の部屋が粒子の均一な配分および改善された物質的な沈殿の正確さを可能にするあります。その結果、部品は一貫した反復可能な膜厚でよく堆積しています。また、清潔度の高いインテリアは、汚染を最小限に抑え、正確な蒸着で部品を生産するのに役立ちます。SME-200Jの統合されたロードロックチャンバーは、部品を迅速かつ正確にロードおよびアンロードします（6 「× 6」または8 「× 8」）。チャンバーには最大5ステップの調整可能な圧力があり、部品の滑らかで正確な積み下ろしを可能にします。さらに、チャンバーは気密であり、汚染や不要な粒子を防ぎます。SME 200 Jには、クローズドループのフィードバック制御や画面上のメニュー駆動プログラミングなど、プロセスの安定性を高める精密な制御機能があります。これにより、150 Å-3500Åの範囲にわたる堆積膜の精密な厚さ制御が可能になり、精度は1Oです。堆積パラメータは、オートメーションとソフトセグメンテーションのためにプログラムすることもでき、プログラム可能な洗練をさらに高めることができます。さらに、ULVAC SME-200Jには、人員や機器の安全を確保するためのさまざまな安全設備があります。このユニットには、圧力センサー、異常動作のための緊急保護装置、強化真空蓋、および前真空の通気扉が装備されています。これはオペレータ保護の高レベルを提供し、過酷な環境でもシームレスで安全な動作を可能にします。全体として、ULVAC SME 200 Jは、半導体、マイクロエレクトロニクス、ハードディスクメディアおよびコンポーネント、オプトエレクトロニクス、光学デバイスなどの業界で最も要求の厳しいアプリケーションを満たすように設計されたオールインワンスパッタリングマシンです。高精度の成膜チャンバと高効率なロードロックチャンバーを備え、高精度な制御機能を備え、高い成膜精度、一貫した再現性のある膜厚、安全な動作を保証します。