中古 ULVAC SME-200E #9379717 を販売中

アルバックSME-200Eは、半導体加工をはじめとする様々な用途の薄膜成膜用スパッタ装置です。電磁気とスパッタリングを組み合わせ、硬質基板とフレキシブル基板の両方にコーティングフィルムを作成する方法である、拡張磁気増強（EME）スパッタリングを利用しています。スパッタコーティングシステムは、高い成膜均一性と高品質フィルムの製造精度を備えた先進技術を特長としています。SME-200Eには信頼性の高いダウンジェットリニアターゲット構成があります。これにより、3次元エッチングによる正確なターゲット操作と、高真空でのスパッタ機能が可能になります。東西回転機を搭載しており、メンテナンスが容易で、幅広い基板との互換性が向上しています。クローズドループ制御機は、直径200mmまでの薄膜に対して非常に安定した均一なスパッタリングを提供します。このツールには、非接触基板の操作と転送のための自動ロード、自動アンロード資産も含まれています。これにより、優れた生産歩留まりで正確な位置決めが保証されます。ULVAC SME-200Eには、二軸回転ステージの両方があり、成膜の均一性を向上させるとともに、ターレットシャワーモデルを回転させて素早く簡単なターゲット材料交換を可能にします。新しく作成された蒸着チャンバは、ターゲットと基板の条件を保持し、あらゆるタイプのコーティング材料での試運転を可能にします。このユニークなスパッタリング装置には、プロセス操作、蒸着制御、レシピプログラミング用のULVAC独自のパックアニメソフトウェアも搭載しています。ソフトウェアは、優れたコーティングの均一性で効率的で反復可能な操作を可能にするレシピ編集、監視、分析ツールを提供しています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、メンテナンスと調整のためのダウンタイムを最小限に抑え、高い生産性を保証します。SME-200Eスパッタリングシステムは、高品質の薄膜を多目的に製造するために設計されています。その優れた技術と高度な機能により、半導体デバイス用のさまざまなコーティングの再現性、均一性、正確な成膜が保証されます。