中古 ULVAC SME-200E #9359649 を販売中

ULVAC SME-200Eは、バリア/カプセル化や光学コーティングなどの用途に高品質で均一な成膜を提供する、高度なスパッタ成膜装置です。それは最適な表面状態を保障するために粒子および残骸の除去を保障する磁気フィルターが装備されています。このユニットは、薄膜成膜にDC/RFマグネトロンスパッタリング技術を使用しており、プラズマ源と基板トーチを使用してスパッタリング効率を最大限に高めています。SME-200Eは、2つのSM-II磁気シールドと円形の石英チューブを含むチャンバーを備えています。このデザインは、優れた品質のフィルムと基板上のフィルムの均一な分布を保証します。ULVAC SME-200Eは、最適なスパッタ条件の自動最適化、アラームのトラブルシューティング機能を備えた自己診断システム、過熱または過圧条件に対する保護を提供します。このユニットには、真空レベルと圧力制御に優れたステージ真空機、真空コントローラと手動バルブが装備されており、スパッタ蒸着のための安定した真空環境を保証します。さらに、SME-200Eには、高速かつ正確なステップとリピート動作を提供するモーションコントロールツールと、外付け部品と使用するための統合された電気接続が付属しています。ULVAC SME-200Eは、チタン、クロム、アルミニウム、ニッケル、銅、タングステン、金、およびインジウムチン酸化物（ITO）、ダイヤモンド様炭素（DLC）、およびTa2O5を含むすべての金属の層を堆積することができます。このアセットにより、有機分子の温度依存蒸発も可能になります。SME-200Eは、デバイスとそのユーザーへの損傷を防ぐために、さまざまな保護機能と安全システムを持っています。特別なガスを使用するために必要なすべての安全衛生ガイドラインは、安全な動作を確保するために遵守する必要があります。結論として、ULVAC SME-200Eは薄膜成膜のための高度なスパッタリングモデルであり、あらゆるタイプの基板上のさまざまな材料に対して信頼性と均一な成膜を提供します。その磁気フィルターおよびその他の安全機能により、安全で効率的な動作が保証され、モーションコントロール装置、真空システム、および自動電力最適化により、基板処理が高速化されます。豊富な用途と高度な機能を備えたSME-200Eは、薄膜成膜に最適なツールです。