中古 ULVAC SME-200E #9271044 を販売中

ULVAC SME-200E
製造業者
ULVAC
モデル
SME-200E
ID: 9271044
Sputtering system Type: Cluster.
ULVAC SME-200Eは、さまざまな材料や基材にわたる薄膜の高性能成膜のために設計された高度なスパッタ装置です。このスパッタシステムは、同軸マグネトロンとターゲット構成のデュアルマグネトロンを使用し、低温での高い蒸着速度、均一なコーティング、優れたコンフォーマルカバレッジを提供します。このユニットは、メタライゼーションプロセス、半導体デバイス製造、オプトエレクトロニクスデバイスなど、さまざまな用途に使用できます。SME-200Eには冷却・排気装置が内蔵されているほか、3軸モーションスプレーガンも装備されているため、スプレーガンを素早く基板の周りに動かして広い領域を均一にコーティングすることができます。このツールはまた、デュアルビーム調整機構を備えており、ユーザーが簡単に発生角度を変更して目的の沈着プロファイルを作成することができます。ユニークな回転ターゲットプレートは、異なるターゲットを使用することができますが、ユーザーはすぐにフィルム堆積のためのガス混合物を選択することができます。ULVAC SME-200Eは、堆積効率と再現性を高める独自のソース接地資産を利用しています。このモデルでは、リアルタイムのプラズマ強度モニターとプロセスモニターを使用して、スパッタリングプロセスを監視することもできます。これにより、ユーザーはすべてのプロセス変数を包括的に把握でき、即座に調整してより良い堆積結果を得ることができます。SME-200Eは、統合されたコンピュータ制御システムを備えた完全自動スパッタリング装置です。このユニットを使用すると、スパッタリング工程を素早く簡単にセットアップでき、最も複雑な基板上に無人蒸着が可能です。モジュラー設計によりメンテナンスとアップグレードが容易になり、ユーザーは最新の技術でスパッタリングシステムを最新の状態に保つことができます。ULVAC SME-200Eは、ハイエンド成膜およびスパッタコーティング用途向けに構築された強力なスパッタリングマシンです。高度な機能と直感的な制御ツールを備えたこのスパッタリングアセットは、一貫した信頼性と高精度のコーティングを作成するための理想的な選択肢です。
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