中古 ULVAC SME-200E #9204276 を販売中

ULVAC SME-200E
製造業者
ULVAC
モデル
SME-200E
ID: 9204276
ウェーハサイズ: 8"
Sputtering system, 8" Included: (2) Chambers 6" Tray & jig High temperature deposition: Maximum 700° C (2) Targets.
ULVAC SME-200Eは、材料の薄膜層を基板に堆積させるために使用されるスパッタ装置です。このスパッタリングシステムは、3つのマグネトロン設計を使用して、蒸着速度の精度を高め、均一な厚さの薄膜の蒸着を可能にします。パワーレベルの精密な調整を可能にし、スパッタプロセスの有効性を確認する独立したモニターユニットを備えています。コントローラはシンプルで直感的な設計で、異なるスパッタ蒸着モードに簡単にプログラムできます。このスパッタリングマシンは、ユニークな減圧制御ツールを備えており、均一な圧力とプラズマ生成のための優れた条件を可能にします。圧力はまたスパッタプロセスの均等性を減らし、スパッタプロセスの変化を減らし、フィルムの均一性を改善する制御資産を減らします。SME-200Eにより、単一または複数の要素を含むさまざまな組み合わせで膜を堆積させることができ、ユーザーは非常に複雑な薄膜構造を得ることができます。アルバックSME-200Eには、汚染を最小限に抑え、クリーンな生産環境を提供するために設計された真空チャンバーがあります。このスパッタリングモデルは、広い堆積面積を持ち、広範囲にわたって材料を均一に堆積させることができ、大面積の薄膜を堆積させるのに最適です。スパッタチャンバーとポンプチャンバーの間にゲートバルブを備えたシングルチャンバー設計を採用しています。汚染を低減するだけでなく、安定したスパッタ圧力とクリーンな生産環境を確保します。SME-200Eは、タッチパネル機能を備えたユーザーフレンドリーな操作を備えています。また、蒸着プロセスのリアルタイム監視と分析を備えているため、プロセスの管理と制御が向上します。それは前のスパッタプロセスを再開するためにわずか2分の迅速な回復時間を持ち、その真空ポンプ装置は信頼性が高く効率的な操作のために設計されています。全体的に、ULVAC SME-200Eは、高品質の薄膜を印象的な均一性で堆積させるための信頼性の高い効率的なスパッタリングシステムです。ユーザーフレンドリーな操作ユニットと様々なスパッタ機能を備えており、様々な用途での精密薄膜成膜に最適です。信頼できる設計、便利な操作および多目的な特徴によって、SME-200Eはさまざまな基質に薄膜の層を放出するための優秀な選択です。
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