中古 ULVAC SME-200 #9293517 を販売中

ULVAC SME-200スパッタ装置は、業界をリードする低コストの所有コストで、高性能の薄膜蒸着アプリケーション用に設計されています。それは優秀な均等性、反復性および制御可能性の低い真空、急速なスパッタリングプロセスを提供します。ULVAC SME 200には2つの個別ターゲットホルダーが装備されており、そのうちの1つはPBN （Pyrolytic Boron Nitride）誘電体を有するスパッタリングターゲットです。これにより、金属膜と誘電膜の両方を堆積させることができます。誘電体はスパッタリングの歩留まりが極めて低く、これまでの薄膜層へのスパッタリングのリスクを最小限に抑えています。さらに、両方のターゲットを同時に使用して、金属と誘電体を単一の動作で堆積させるか、または蒸着速度を追加するために交互に使用することができます。SME-200には、ロードロックチャンバーと4インチウェーハサンプルを最大4個保持できる加熱基板ホルダーも備えています。これにより、真空下での迅速なサンプルの積み下ろしとアンロードが可能になります。ヒーターは0°C〜400°Cの範囲で、ウェーハの熱処理に最適です。このユニットは、再現可能なレシピベースの蒸着プロセス制御により、高い蒸着速度能力を備えています。また、QMS-200 （Quality Monitoring Machine）を搭載しており、目標条件を自動的に監視し、データロギングと品質管理機能を提供します。SME 200は、保護層やバリア層から平面層まで幅広い用途に対応できる強力なスパッタリングツールです。アルバックはまた、SMEシリーズのスパッタアセットモデルを数多く提供しており、様々なスパッタリング要件に対応しています。