中古 ULVAC SME-200 #9156855 を販売中

アルバックSME-200はマグネトロンスパッタリング装置です。それは表面に特定の材料の薄膜を堆積するのに使用される高度システムです。自動化されたユニットで、再現可能な薄膜成膜を可能にし、調整可能なパラメータにより、幅広い成膜品質とフィルム特性を実現します。ULVAC SME 200マシンは、低真空室、2つの独立したスパッタリング源、電子ビーム源、RFコーター、および回転ターゲット源で構成されています。適当な源を利用して、部屋の基質はスパッタリングターゲットのイオン化されたガス粒子、電子、または無線周波数波にさらされます。これらの源からのイオン、電子、または無線周波数の波は、ターゲットから分子を打ち、脱落させ、それが基質に付着して所望のフィルムを形成する。SME-200ツールは、異なるサイズの2つの基板を扱うことができ、より効率的な生産を可能にします。どちらのスパッタリング源も2kWのパワーバジェットを備えており、スパッタの深さと均一性の高い精度と再現性を実現するために集中マグネトロンを装備しています。基板ホルダーは、ガラス、石英、シリコン、アルミニウム、金属などの様々なサイズ/タイプの基板で片面および両面ウェハをサポートすることができます。このチャンバーには、可変圧力アセット、ターボポンプ、および蒸着のための制御された大気と真空レベルを可能にするクライオポンプがあり、蒸着プロセスをより正確に制御することができます。SME 200には多数のモデルセンサーが搭載されており、すべてのプロセスパラメータとガスの流れをリアルタイムで監視できます。装置のソフトウェアは、堆積中のすべてのパラメータを遠隔操作し、堆積プロセスを完全に制御することができます。システムの高度な設計と調整可能なパラメータのおかげで、ユニットはさまざまな材料と特性のフィルムの範囲を堆積するために使用することができ、さまざまなアプリケーションに適した非常に汎用性の高いスパッタリングマシンになります。