中古 ULVAC SME-200 #293758509 を販売中

ULVAC SME-200は、最高の均一性、低欠陥サンプル、および低コスト材料を有する薄膜コーティングの製造に最適な汎用性とコンパクトなスパッタ装置です。このシステムは、均一なスパッタリング速度と最大収率のために設計された精密設計されたチャンバーを使用して、高品質の多層薄膜コーティングを製造することができます。ULVAC SME 200スパッタリングユニットは、前真空チャンバー、高真空チャンバー、スパッタリングチャンバー、基板ホルダーの4つの独立したコンパートメントで構成されています。プレバキュームチャンバーは、蒸着プロセスが始まる前に機械を迅速に避難させるように設計されています。高真空チャンバは、基材をスパッタリングチャンバーに経路し、ほぼ完璧な真空を作り出します。スパッタリングチャンバーは、高信頼性ACおよびDCバイアス磁石で構成され、低強度プラズマを生成し、高真空イオンを基板に導きます。基板ホルダーは、基板材料の正確な位置と向きを精密に制御します。SME-200には、ターゲット原子の分数、圧力、およびプロセス時間を正確に制御するためのデュアルデジタルマスフローコントローラ（MFC）が装備されています。このスパッタリングツールは、金属、金属化合物、絶縁体、セラミック材料など、さまざまなコーティングオプションを提供します。あらゆる産業用途に素早く組み込むことができるコンパクトな設計で、SME 200は、0。1nmまでの膜厚、および12inの窓サイズに調整できる均一なコーティングを提供します。さらに、復元可能なコントローラメモリと組み込みプロセス監視機能により、オペレータは資産プロセスを素早くリセットして監視することができます。ULVAC SME-200は、高い信頼性とさまざまなプロセス制御オプションを備えた優れた均一性と超薄膜を提供する低コストのスパッタリングモデルで、さまざまな産業用スパッタリングアプリケーションに最適です。このスパッタリング装置は、ULVACの信頼性の高いサービスにも裏付けられており、24時間年中無休のオンラインテクニカルサポートとULVAC認定の設置およびメンテナンス技術者へのアクセスが可能です。オールインワン設計とテーラードエンジニアリングにより、アルバックSME 200スパッタリングシステムは、最高品質の薄膜製造に堅牢で経済的なプロセスを提供します。