中古 ULVAC SME-200 #293637655 を販売中

アルバックSME-200スパッタリング装置は、金属などの薄膜を基板に付着させるように設計されています。このスパッタリングシステムは、アンバランス電圧を利用したマグネトロンスパッタリング技術を利用して、対象物質の荷電粒子を高速で被爆させます。この爆撃は材料を蒸発させ、薄膜の形で基板に堆積させます。ULVAC SME 200スパッタリングユニットは、高い蒸着速度、優れた均一性、および優れたステップカバレッジを提供します。2"、3"、または4"ウェーハ、および異なるサイズ、形状、および温度の他の基板を処理することができます。このマシンは、複数のターゲット材料をサポートし、様々な材料から作られた様々な薄膜を堆積することができます。さらに、選択可能な厚さと面積のコーティングを堆積するようにプログラムすることができ、高レベルの均一性を達成することができます。SME-200は、単一のロードロックチャンバーと独立したポンピングツールを備えており、アセットはクロス汚染を最小限に抑えてさまざまな基板に簡単に層を堆積させることができます。さらに、ガス供給チャンバーを内蔵することで、各種ガス組成物を最適なフィルム蒸着に利用することができます。さらに、2つの外部6インチ高ポンプAC駆動マグネトロンにより、特殊な特性と特性を必要とするバリア層やその他の層などの多層薄膜を堆積させることができます。この装置は表面コーティングおよび高度の薄膜の開発を含むいろいろな適用にとって理想的です。高出力、高度な制御および監視システム、および精密な堆積能力により、SME 200は産業、研究、開発環境に最適です。さらに、ULVACの品質サポートと専門知識に裏打ちされているため、正確な高さと均一性の薄膜を堆積することを検討している人に最適です。