中古 ULVAC SME-200 #293633947 を販売中
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ULVAC SME-200は、薄膜成膜およびコーティング用の高品質スパッタ装置です。これは、最高品質と均一性の部品を生産することができるマルチカソード、高真空システムです。真空チャンバーを使用して、ULVAC SME 200は、基板からの汚染やその他の粒子をポンプアウトすることができます。ユニットには8つの独立したマグネトロンスパッタリング陰極が組み込まれており、ユーザーはさまざまな領域で異なる材料をスパッタすることができます。ユーザーが指定したパターンに基づいて、多層コーティングも生成でき、ターゲット領域は20nmまで小さくすることができます。また、斜めのアングルターゲットや散乱アングルスパッタリングも装備しており、複雑なデザインが可能です。SME-200は、ユーザーがツール全体を制御できる高度な制御エレクトロニクスによって駆動されます。半導体温度コントローラを使用することで、高精度な基板に対して安定した温度を維持し、蒸着環境を均一に保つことができます。ガスの流れ、圧力、温度、スパッタリング処理時間など、複数のプログラム可能なパラメータを1つの場所から制御または監視できます。SME 200は信頼性の高いモデルであり、幅広いアプリケーションの可能性を提供します。これは、ユーザーが最小限の時間と労力で高品質のコンポーネントを生産するのに役立つ柔軟な機器です。このシステムは、高精度と再現性を測定する金属薄膜と非金属薄膜の両方の成膜に役立ちます。ナノメートル薄膜層を堆積することができ、200nm/minの顕著な堆積率を有する。スパッタリングユニットは、迅速かつ簡単な洗浄プロセスを備えているため、メンテナンスが簡単です。このマシンはまた、リアルタイム操作を可能にするタッチスクリーンインターフェイスを備えたビジュアルサブシステムを備えています。複数のレシピを保存できるため、ユーザーは堆積プロセスの効率を高めることができます。このツールにはプログラマブルロジックコントローラ(PLC)アセットもあり、堆積プロセスの精度を向上させます。アルバックSME-200スパッタリングモデルは、産業用および消費者用の薄膜成膜に最適です。それは信頼性の高い、しかし柔軟なデザインを持っており、使いやすいです。精密な再現性を備えた高品質で均一なレイヤーを生成する能力により、ユーザーはほとんどの処理ニーズに恩恵を受けることができます。
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